2024欧洲杯(中国区)官网-登录入口专利苦求号为CN202420512448.0-2024欧洲杯(中国区)官网-登录入口

2024欧洲杯(中国区)官网-登录入口专利苦求号为CN202420512448.0-2024欧洲杯(中国区)官网-登录入口

证券之星音信,凭据天眼查APP数据流露颀中科技(688352)新赢得一项实用新式专利授权,专利名为“芯片制造建立”,专利苦求号为CN202420512448.0,授权日为2025年5月2日。

专利节录:一种芯片制造建立,包括:具有腔室的盖体、诞生于腔室内的承载台、与腔室连通的输液管路和赶走输液管路开启或关闭的输液阀,输液管路具有朝承载台出射稀释液体的出液口;输液阀为常开式阀体,在输液阀断电后,输液管路导通以使稀释液体从出液口流出。本实用新式在腔室内诞生了输液管路,输液管路上诞生有常开式的输液阀罢了了在制造建立出现断电等稀薄后粗略使输液管路开启,输液管路内喷射出水等流体,喷射出的流体从出液口喷出,并喷射到承载台上的晶圆名义,粗略对晶圆名义残留的酸或碱等药液进行稀释,从而缩短药液的腐蚀性,对晶圆起到保护的作用,幸免了制造建立在出现故障后导致的扬弃在承载台上的晶圆报废。

本年以来颀中科技新赢得专利授权21个,较旧年同时加多了425%。鸠合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面参加了1.55亿元,同比增45.53%。

数据开首:天眼查APP

以上践诺为证券之星据公开信息整理2024欧洲杯(中国区)官网-登录入口,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不组成投资冷漠。